mode Surface-onduler-soutenu
Des plasmas qui sont excités par la propagation des vagues extérieures électromagnétiques s'appellent le surface-onduler-soutenu par . Des sources de plasma de la vague extérieure peuvent être divisées en deux groupes selon, que le plasma produise d'une partie de son propre guide d'ondes par l'ionisation ou pas. L'ancien s'appelle un plasma Self-guided . Le mode de vague extérieure laisse produire des plasmas haut-fréquence-excited uniformes en volumes dont les dimensions latérales se prolonge au-dessus de plusieurs longueurs d'onde de l'onde électromagnétique électromagnétique, par exemple pour des micro-ondes de 2.45 gigahertz dans le vide les montants de la longueur d'onde à 12.
Pendant longtemps, les sources de plasma de de la micro-onde sans champ magnétique n'ont pas été considérées appropriées à la génération des plasmas à haute densité. Les ondes électromagnétiques électromagnétiques ne peuvent pas propager dans les plasmas Au-dessus-denses que la vague est reflétée sur la surface de plasma due à l'effet de peau et devient une onde évanescente . Sa profondeur de pénétration correspond au , ce qui peut être rapproché par le
La profondeur de pénétration non-vanishing d'une onde évanescente ouvre une voie alternative de chauffer un plasma : Au lieu du traversant le plasma, la conductivité du plasma permet le de propagation de saluer le long de la surface de plasma. L'énergie est alors transférée au plasma par une onde évanescente qui écrit la perpendiculaire de plasma sur sa surface et le délabre exponentiellement avec la profondeur de peau . Le 'mécanisme de transfert laisse produire des plasmas Au-dessus-denses avec des densités d'électrons au delà de la densité critique.
des plasmas Surface-onduler-soutenus (SWP) peuvent être actionnés dans une grande variété des géométries réceptives. La gamme de pression accessible pour les plasmas surface-onduler-excited dépend du gaz de processus et du diamètre du destinataire. Plus le diamètre de chambre est grand, plus la pression minimale nécessaire pour le mode de SWP est inférieure. De façon analogue, la pression maximale où un SWP stable peut être des diminutions actionnées avec l'augmentation de diamètre. Le de modélisation numérique de SWPs est tout à fait impliqué. Le plasma est créé par l'onde électromagnétique électromagnétique , mais il également reflète et guide cette même vague. Par conséquent, véritable une description cohérente du est nécessaire.
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