Plasma de micro-onde

Les micro-ondes étant le rayonnement électromagnétique à haute fréquence dans la chaîne de gigahertz , sont capables d'exciter des décharges gazeuses electrodeless.

les plasmas Micro-onde-excited ont deux propriétés attrayantes :

si appliqué dans le Surface-onduler-a soutenu le mode , ils sont particulièrement bien adapté pour produire des plasmas de large-area= de la densité élevée de plasma de .

dans le le mode à onde de surface de résonateur de et de , ils peuvent montrer un niveau important de la localisation spatiale. Ceci laisse séparer dans l'espace l'endroit de la génération de plasma de l'endroit du traitement extérieur, voient le plasma de postluminescence de . Une telle séparation, ainsi qu'un arrangement approprié de circulation du gaz, peut aider à réduire l'effet négatif que les particules ont libéré d'un substrat traité peuvent avoir sur la chimie de plasma de de la phase gaseuse .

Voir également

lampe de soufre

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