Interface de Smif

Acronyme pour l'as echanical de F nter du I du M de tandard du S .

Une technologie d'isolement s'est développée dans les années 80 par le groupe connu sous le nom de " ; micronauts" ; au Hewlett-Packard dans le Palo Alto . Le système est employé dans des environnements du Cleanroom de fabrication et de de la gaufrette du semi-conducteur .

Son but est d'isoler les gaufrettes de la contamination en fournissant à un mini environnement le flux d'air commandé, la pression et le comptage de particules. Des cosses de SMIF peuvent être accédées par les interfaces mécaniques automatisées de l'équipement de production. Les gaufrettes restent donc dans un environnement soigneusement commandé si dans la cosse de SMIF ou dans un outil, sans être exposée au flux d'air environnant.

Chaque cosse de SMIF contient une cassette de gaufrette en laquelle les gaufrettes sont stockées horizontalement. Le fond de la cosse est la porte d'ouverture, et quand une cosse de SMIF est placée sur un port de charge la porte et la cassette inférieures sont abaissées dans l'outil de sorte que les gaufrettes puissent être enlevées.

SMIF est typiquement employé pour les gaufrettes pas plus en grande partie que 200mm, l'équivalent pour des gaufrettes de 300mm étant le FOUP ( O de ront de F parquant nified par P OD de U). La flexibilité plus grande des gaufrettes de 300mm signifie qu'il n'est pas faisable d'employer la technologie de SMIF et conçoit pour 300mm, par conséquent la raison de l'apparition de FOUPs.

ndustry-moignon .

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